DriveSet M256A in einer Sprühanlage

Anwendung: Sprühen in einer Anlage für die Halbleiterproduktion

DriveSet: M256A

Arbeitsraum: 250 x 250 mm

Geschwindigkeit: 0,4 m/s

Präzisionsklasse: 0,1 mm

Tragfähigkeit: 15 kg

Besonderheit der Konstruktion
Kugelgewindetrieb, Adapterplatten, Motoradapter und Auflager des DriveSets wurden in Edelstahl ausgeführt. Es wird in einer Umgebung eingesetzt, in der die Werkstücke mit Natronlauge gereinigt werden, so dass beständiges und leicht zu reinigendes Material notwendig war.

Beschreibung
Das DriveSet wird für einen Sprühprozess für die Waferproduktion des Kunden eingesetzt.

Ausstattung
Zweiachsige Konsolkonstruktion mit Stützachse in horizontaler Einbaulage. Antrieb mit Kugelgewindetrieb und Servomotoren mit Encoderrückmeldung. Angebaute Referenzschalter und Energieführungsketten.