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Zahl der Achsen

Einachsige Lineareinheiten für Bewegung in der linearen Dimension
Zweiachsige Lineareinheiten für Bewegung in der Ebene
Dreiachsige Lineareinheiten für Bewegung im Raum

Gewünschte Geschwindigkeit
(in m/s)

0,10,415

Welche Last soll bewegt werden?
(max. 40 kg)

Wie genau soll das System sein?

 0,025 mm
 0,1 mm
 0,4 mm



Rechtliche Hinweise Datenschutz

DriveSet M256A in einer Sprühanlage

Das DriveSet in einer Waferproduktionsanlage ist in Edelstahl ausgeführt
Das DriveSet in einer Waferproduktionsanlage ist in Edelstahl ausgeführt.

Anwendung: Sprühen in einer Anlage für die Halbleiterproduktion

DriveSet: M256A

Arbeitsraum: 250 x 250 mm

Geschwindigkeit: 0,4 m/s

Präzisionsklasse: 0,1 mm

Tragfähigkeit: 15 kg

Besonderheit der Konstruktion
Kugelgewindetrieb, Adapterplatten, Motoradapter und Auflager des DriveSets wurden in Edelstahl ausgeführt. Es wird in einer Umgebung eingesetzt, in der die Werkstücke mit Natronlauge gereinigt werden, so dass beständiges und leicht zu reinigendes Material notwendig war.

Beschreibung
Das DriveSet wird für einen Sprühprozess für die Waferproduktion des Kunden eingesetzt.

Ausstattung
Zweiachsige Konsolkonstruktion mit Stützachse in horizontaler Einbaulage. Antrieb mit Kugelgewindetrieb und Servomotoren mit Encoderrückmeldung. Angebaute Referenzschalter und Energieführungsketten.